| 系統識別號 |
U0026-2501201910405700 |
| 論文名稱(中文) |
石墨烯作為銅導線介電阻障層漏電流與時依性介電崩潰之研究 |
| 論文名稱(英文) |
The Study to Explore the Leakage Current and Time Dependent Dielectric Breakdown of Graphene as Dielectric Barriers of Copper Interconnects |
| 校院名稱 |
成功大學 |
| 系所名稱(中) |
機械工程學系 |
| 系所名稱(英) |
Department of Mechanical Engineering |
| 學年度 |
107 |
| 學期 |
1 |
| 出版年 |
108 |
| 研究生(中文) |
鄭翰哲 |
| 研究生(英文) |
Han-Che Cheng |
| 學號 |
N16051134 |
| 學位類別 |
碩士 |
| 語文別 |
中文 |
| 論文頁數 |
140頁 |
| 口試委員 |
指導教授-林仁輝
口試委員-鄧熙聖
口試委員-賴朝松
口試委員-鍾震桂
口試委員-韓長富
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| 中文關鍵字 |
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| 學科別分類 |
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| 論文目次 |
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| 參考文獻 |
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| 論文全文使用權限 |
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