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系統識別號 U0026-2406201923014800
論文名稱(中文) 以系統動力學探討光阻剝離液回收效率
論文名稱(英文) Explore the efficiency of photoresist stripper using system dynamics
校院名稱 成功大學
系所名稱(中) 工業與資訊管理學系碩士在職專班
系所名稱(英) Department of Industrial and Information Management (on the job class)
學年度 107
學期 2
出版年 108
研究生(中文) 陳調陽
研究生(英文) Tiao-Yang Chen
學號 R37061139
學位類別 碩士
語文別 中文
論文頁數 87頁
口試委員 指導教授-王維聰
口試委員-何淑君
口試委員-陳信宏
中文關鍵字 系統動力學  光阻剝離液  節能環保  永續經營 
英文關鍵字 System dynamics  photoresist stripper  Environmental protection  Sustainable development 
學科別分類
中文摘要 在中國大陸面板業持續擴張下,台灣為提高競爭力,節流以降低生產成本已是最重要的課題;而製造面板流程中,化學品所佔的比例比其他製程成本高,因此化學品回收對於生產成本有很大的幫助。
本研究主要針對個案面板廠於製造過程中所使用的光阻剝離液進行回收,但回收光阻剝離液受限於個案面板廠設備的耗用限制,以及廠務端收集廢液再到化學品回收廠商所提供的60%回收率限制下,如何做到最佳的回收效率為本研究最終的指標。
然而光阻剝離液於個案設備生產過程中所產生的廢液,經由廠務端收集給回收廠進行回收,再將回收後的化學品運回到個案廠進行製程,此循環具有高度動態且複雜的動態關係,故本研究借重系統動力學來進行研究,並利用系統動力學的模擬軟體Vensim PLE,將個案廠的光阻剝離液使用方式建構在模擬軟體中,以模擬個案廠使用化學品的現況,並由現況進行各項政策模擬,以找出最佳的化學品回收率方法。
因此本論文預期執行政策後期望可提高光阻剝離液的回收率,除了可降低生產成本,減少公司營運支出外,對於企業社會責任、企業永續經營、企業形象、綠能環保等皆是目前環保產業發展的重點;也因此企業除了追求高獲利外,對於環境保護也需盡一份力,最終期望達到環境、能源及產業均能永續發展的目標。
英文摘要 This research makes use of the method of system dynamics to inquire into a photoresist stripper recovery rate, Because the photoresist stripper uses a procedure complicated, and is influenced by many different depletion sources, Change these parameters that consume and use a source all will produce the variety to the recovery rate, Have the high dynamic state variety,Therefore make use of the system dynamics software Vensim PLE to construct the photoresist stripper model, With the use current conditions that imitates a chemicals, And is carried on the simulate of each policy by the current conditions,With find out the best chemicals recovery rate method.
This research puts great emphasis on the photoresists stripper recycle efficiency, And analyze three key factors:Adjust the air knife regulator, Establish exhaust condenser, and use SRS recycle system to increase the recovery rate. In addition, After carrying out the policy emulation, The Stripper recovery rate can promote to 77.6%。
論文目次 摘要 I
誌謝 VIII
表目錄 XI
圖目錄 XII
第一章 緒論 1
第一節 研究背景與動機 1
第二節 研究目的 3
第三節 研究範圍與限制 5
第四節 研究流程 6
第二章 文獻探討 8
第一節 光阻剝離液耗用源介紹 8
第二節 探討化學品減量的方法 11
第三節 實施化學品減量的優點 13
第四節 環保產業的發展 14
第五節 系統動力學介紹 15
第六節 小結 19
第三章 研究方法 20
第一節 研究問題 20
第二節 資料蒐集 21
第三節 資料分析方法 25
第四節 模型架構 30
第五節 整體模型架構 31
第四章 模型模擬與政策分析 40
第一節 三大耗用源政策模擬 40
第二節 Exhaust冷卻管模擬分析 51
第三節 綜合模擬分析 55
第四節 SRS回收系統模擬分析 58
第五章 結論 62
第一節 研究結論與貢獻 62
第二節 未來研究發展 65
參考文獻 66
附錄 模型公式 70
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