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系統識別號 U0026-2306201212270900
論文名稱(中文) CBR應用於半導體製程缺陷監測設備維修-以K公司為例
論文名稱(英文) CBR Application in Defect Monitoring Equipment Repairing - K Company as Case Study
校院名稱 成功大學
系所名稱(中) 工學院工程管理碩士在職專班
系所名稱(英) Institute of Engineering Management
學年度 100
學期 2
出版年 101
研究生(中文) 陳正翰
研究生(英文) Cheng-Han Chen
學號 N07981089
學位類別 碩士
語文別 中文
論文頁數 63頁
口試委員 指導教授-陳澤生
召集委員-張益三
口試委員-王榮泰
口試委員-楊復輝
口試委員-楊開南
中文關鍵字 知識管理  案例式推理  故障診斷維修系統 
英文關鍵字 Knowledge management  Case-based reasoning  Diagnostic and repairing system 
學科別分類
中文摘要 積體電路(Integrated Circuit,IC)自1950年代發明後,取代了真空管成為電路迴路中重要的一部份,在製程(Process)不斷的進步下,循著摩爾定律(Moore’s Law),每18個月每單位面積的電晶體密度提升一倍且平均銷售價格不變,到現在業界中最先進的量產28奈米製程,其中的製程間監控也亦趨重要。在製程需求的提升下,製程監控密度是良率(Yield)的基石,因此在每一個製程進步的節點(Node)中,就需要更精準的設備儀器來進行加工與檢測。
精密的設備儀器開發代表使用更多先進的技術來達成製程微小化,然而對於維護與售後服務卻是一大挑戰,不同的設備型號會有著不同的設計原理與應用技術,負責維護的人員需將這些精密的儀器設備完整的了解,才能進行故障診斷與維修,尤其對於新進的人員需要花更多的時間與教育訓練才能熟練上手,即使是資深工程師也無法一一將所有細節記憶與應用,而且手法也不盡一致,然而在半導體製造業中期望的是以最短的時間將問題找出並解決之使得設備可以回線生產,因此將已知的手法與專家經驗妥善紀錄與應用,以縮短設備故障診斷時間並增加生產能力。
本論文應用知識管理與案例式推理(Case-based Reasoning,CBR),配合專家訪談後將關鍵的案例知識擷取後找出關鍵的指標,明確的將內隱的知識外顯化與紀錄,並且應用TEAMATES軟體建構一故障診斷維修案例式推理資料庫,以提供工程人員故障診斷排除使用;新進人員在完成基礎訓練後亦可使用該系統進行進階的訓練。藉由該故障診斷維修系統,工程人員能得到先前的專家經驗與案例轉換為知識為應用,故可以減少故障診斷的障礙,縮短故障診斷的時間後進行故障排除與修復,迅速的恢復產線生產能力。
英文摘要 Vacuum tube technology has been substituted by Integrated Circuit(IC)which becomes an important part of the system design since 1950. According to the Moore’s law” The IC density of a chip will be double but the average selling price remains”. It means that the technology keeps on improving to the most advanced 28nm device as the mass production for a manufactory. Meanwhile, the process monitoring and controlling become more and more important, since they are the fundamental procedure of yield. Therefore, more accuracy and more sensitive tools are the demand of each manufacturing node for technology improvement.
To achieve the demand of process controlling, more advanced hardware technology has been implemented in new tools. The improvement of technology becomes a big challenge to engineers because they need to repair the faulted machines. They have to learn more repairing technologies to troubleshoot the modern semiconductor machines. Thus, a strict training will be needed to meet the job requirements. However, the producing time for the semiconductor industry is very important. The shorter repairing time indicates the better productivity for the manufacturer. Therefore, it will be useful to keep the expert’s experience and build a knowledge based system for repairing references. Thus, the production performance will be improved due to the shorter machine down time.
The objective of this study is developing and building a diagnostic and repairing system for a defect monitoring tool in semiconductor field by case-based reasoning (CBR) approach. Many cases are analyzed and discussed by experts. Finally, a CBR system has been constructed with the TEAMATES software for engineer’s application. After the system has been set up, the senior engineers can easily troubleshoot the faulted machines and it also can be used as an advanced course for junior engineers after they finish the basic trainings. As a result, this system will help our engineers to reduce the machine down time and increase the productivity of a semiconductor foundry.
論文目次 目錄
中文摘要 I
英文摘要 II
誌謝 III
目錄 IV
表目錄 VI
圖目錄 VII
中英文縮寫對照 VIII
第1章 緒論 1
1-1 研究背景與動機 1
1-2 研究目的 3
1-3 研究範圍與限制 3
1-4 研究方法與步驟 4
1-5 論文架構 5
第2章 文獻探討 6
2-1 半導體產業與製程監測 6
2-1-1 半導體產業發展 6
2-1-2 半導體製程間監測 9
2-1-3缺陷檢測與種類 10
2-2 故障診斷與維修輔助方法12
2-2-1 故障診斷與排除 12
2-2-2 故障診斷方法 14
2-2-3 故障維修輔助方法 17
2-3 企業知識管理 18
2-3-1 知識定義與分類 18
2-3-2 企業知識管理 20
2-3-3 企業知識管理實例 23
2-4 專家系統 24
2-4-1 專家系統簡介與理論 24
2-4-2 專家系統規則比較 28
2-4-3 案例式系統與建構 30
第3章 研究方法與個案分析 32
3-1 研究方法 32
3-2 個案公司分析 33
3-2-1個案公司介紹 33
3-2-2缺陷檢驗原理與設備 34
3-2-3 知識管理做法與探討 36
3-3 資料收集與分析 41
第4章 案例式故障診斷系統實作43
4-1 案例與設備診斷魚骨圖 43
4-1-1 案例資料分析 43
4-1-2 設備診斷魚骨圖 44
4-2 故障診斷系統需求與流程46
4-2-1 系統硬體與軟體環境需求46
4-2-2 系統使用流程 47
4-3 系統實證 50
第5章 結論與建議 55
5-1 結論 55
5-2 後續研究之建議 56
參考文獻 57
中文部分 57
英文部分 59
網站部分 61
附錄 62

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