| 系統識別號 |
U0026-1908202005315600 |
| 論文名稱(中文) |
金屬層影響氮化鈧鋁薄膜壓電性質之研究 |
| 論文名稱(英文) |
Investigation on the effect of metal layer on the piezoelectric properties of ScAlN thin film |
| 校院名稱 |
成功大學 |
| 系所名稱(中) |
材料科學及工程學系 |
| 系所名稱(英) |
Department of Materials Science and Engineering |
| 學年度 |
108 |
| 學期 |
2 |
| 出版年 |
109 |
| 研究生(中文) |
李秉和 |
| 研究生(英文) |
Ping-Ho Lee |
| 學號 |
N56071132 |
| 學位類別 |
碩士 |
| 語文別 |
中文 |
| 論文頁數 |
86頁 |
| 口試委員 |
指導教授-黃肇瑞
口試委員-吳信賢
口試委員-齊孝定
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| 中文關鍵字 |
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| 學科別分類 |
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| 論文目次 |
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| 參考文獻 |
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| 論文全文使用權限 |
同意授權校內瀏覽/列印電子全文服務，於2021-07-13起公開。同意授權校外瀏覽/列印電子全文服務，於2021-07-13起公開。 |
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