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系統識別號 U0026-1908202005315600
論文名稱(中文) 金屬層影響氮化鈧鋁薄膜壓電性質之研究
論文名稱(英文) Investigation on the effect of metal layer on the piezoelectric properties of ScAlN thin film
校院名稱 成功大學
系所名稱(中) 材料科學及工程學系
系所名稱(英) Department of Materials Science and Engineering
學年度 108
學期 2
出版年 109
研究生(中文) 李秉和
研究生(英文) Ping-Ho Lee
學號 N56071132
學位類別 碩士
語文別 中文
論文頁數 86頁
口試委員 指導教授-黃肇瑞
口試委員-吳信賢
口試委員-齊孝定
中文關鍵字
學科別分類
論文目次
參考文獻
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