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系統識別號 U0026-1607201813340500
論文名稱(中文) 以磁控濺鍍法製作之金屬氧化物薄膜特性及其氣體感測之應用
論文名稱(英文) Investigation of Metal Oxide Thin Films Fabricated by RF Sputtering System and Their Gas Sensing Applications
校院名稱 成功大學
系所名稱(中) 微電子工程研究所
系所名稱(英) Institute of Microelectronics
學年度 106
學期 2
出版年 107
研究生(中文) 李家緯
研究生(英文) Chia-Wei Lee
學號 Q16054176
學位類別 碩士
語文別 英文
論文頁數 77頁
口試委員 指導教授-張守進
共同指導教授-陳志方
口試委員-洪飛義
口試委員-姬梁文
口試委員-林建德
中文關鍵字
學科別分類
論文目次
參考文獻
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