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系統識別號 U0026-1506201410281100
論文名稱(中文) 運用FMEA方法對二氧化碳滅火系統安全管理之探討
論文名稱(英文) A Study on Safety Management of Carbon Dioxide Fire Extinguishing System by FMEA Approach
校院名稱 成功大學
系所名稱(中) 工程管理碩士在職專班
系所名稱(英) Institute of Engineering Management (on the job class)
學年度 102
學期 2
出版年 103
研究生(中文) 黃彥豪
研究生(英文) Yen-Hao Huang
電子信箱 hyh690121@gmail.com
學號 N07001300
學位類別 碩士
語文別 中文
論文頁數 97頁
口試委員 指導教授-陳澤生
口試委員-張書銓
口試委員-方正中
召集委員-趙隆山
口試委員-林文暉
中文關鍵字 失效模式與效應分析  二氧化碳滅火系統  濕式清洗檯 
英文關鍵字 FMEA  Failure Modes and Effects Analysis  Carbon Dioxide Fire Extinguishing System  Wet bench 
學科別分類
中文摘要 濕式清洗檯發生事故之比率居科技業半導體事故之冠,因此保險公司皆會依據國際規範建議設置二氧化碳滅火系統,以避免發生火災時災情的擴大,但設備誤放射事件頻傳,故探討此設備失效模式及發生原因。FMEA為常用之設備可靠度管理方式,選用此風險評估以期能發現相關問題,及早進行因應及改善。

本研究由重大事故及保險公司統計之事故,說明設置二氧化碳滅火系統之原因,並介紹此系統之相關元件及系統圖,說明FMEA使用方法,再利用FMEA表格分析相關風險,並提出難檢度、嚴重度及發生率計算風險優先指數,提出優先改善元件的次序。

依據FMEA工作小組在安全管理考量下,提出有效可行之具體改善措施,於改善後再進行一次風險評估時,確定將潛在失效模式已為可接受之風險程度,將系統失效率降低並提升人員對該系統之了解,後續誤放射事件發生率可望能夠降低,對生產及機台運作上,將能夠有效改善及預防相關火災風險。
英文摘要 The accident rate of Wet Bench is the highest in the semiconductor accident of technology. For this reason, the insurance companies all accord with the international norm to suggest setting a Carbon Dioxide Fire Extinguishing System, in order to avoid expanding the effect of a fire. However, this system occurred the accidents of faulty radiation frequently. Therefore, this study explores the failure mode and the cause of this system. FMEA is a commonly equipment reliability management. Choosing this risk assessment to find out the correlation problem, so as to response and improve in advance.

The data of this study was funded by a major accident and the statistics by insurance company. To illustrate the reasons of setting Carbon Dioxide Fire Extinguishing System and introduce the correlation data and system chart. First of all, to explain how to operation the FMEA. Second, utilize the table of FMEA to analyze the correlation risk, and propose the detection, severity and incidence to calculate the Risk Priority Number (RPN). Then recommend the priority order of component improvement.

Based on the consideration of safety management, the FMEA working group proposes the specific improvement measures which is effective and feasible. When a risk assment is conducted after the improvements, then make sure the potential Failure Mode has been acceptable on risk extent. So that it can reduce the system error rate and improve the understanding of the staff on system, and the following incidence of faulty radiation might be reduced expectantly. Also, for the machine production and operation, it will be able to improve and prevent effectively on the risk of fire accidents.
論文目次 中文摘要 I
EXTENDED ABSTRACT II
誌謝 V
目錄 VI
表目錄 IX
圖目錄 XI
中英文縮寫對照表 XIII
第1章 緒論 1
1-1 研究背景與動機 2
1-2 研究目的 3
1-3 研究範圍 4
1-4 研究架構 4
第2章 文獻探討 6
2-1 濕式清洗檯之介紹 6
2-1-1 濕式清洗檯設備概論 6
2-1-2 濕式清洗檯危害分析 9
2-2 濕式清洗檯之消防安全防護 10
2-2-1 濕式清洗檯本體之防火要求 10
2-2-2 濕式清洗檯之自動滅火系統 10
2-2-3 火警偵測及自動警報系統 13
2-3 FMEA分析方法之介紹 15
2-3-1 FMEA起源 15
2-3-2 FMEA應用 16
2-3-3 FMEA 之意義與目的 18
2-3-4 FMEA 之相關名詞定義 21
2-3-5 FMEA 之實施對象及其效益 22
2-3-6 FMEA 之實施程序 23
2-3-7 FMEA 的文獻回顧 36
2-4 本章小結 37
第3章 二氧化碳滅火系統之探討 38
3-1 二氧化碳自動滅火系統之介紹 41
3-1-1 二氧化碳滅火藥劑特性與滅火原理 42
3-1-2 二氧化碳滅火系統放射方式分類 45
3-1-3 二氧化碳滅火系統滅火濃度與藥劑量之探討 47
3-2 生產機台二氧化碳滅火系統的介紹 53
3-2-1 生產機台二氧化碳滅火系統的組成 54
3-2-2 生產機台二氧化碳滅火系統的動作流程 57
3-2-3 面板廠生產機台二氧化碳滅火系統的設計實務 58
3-3 個案 FMEA 分析模式的建立 63
3-4 生產機台二氧化碳滅火系統管理系統之建立 69
第4章 個案研究 70
4-1 個案公司簡介及廠內實務說明 70
4-1-1 公司簡介 70
4-1-2 個案公司生產機台二氧化碳滅火系統的安裝廠牌 71
4-2 生產機台二氧化碳滅火系統失效模式及FMEA表單之建立 71
4-2-1 個案公司生產機台二氧化碳滅火系統之誤放射案例 71
4-2-2 生產機台二氧化碳滅火系統失效案例 74
4-2-3 FMEA表單之建立及分析 75
4-3 FMEA分析建立及結果與討論 84
4-3-1 FMEA分析結果與討論 84
4-3-2 FMEA改善策略之分析 85
4-3-3 生產機台二氧化碳滅火系統管理系統之建立 87
第5章 結論與建議 93
5-1 研究結論 93
5-2 後續研究建議 94
參考文獻 95
中文部分 95
英文部分 97
網頁部分 97
參考文獻 中文
1.小野寺勝重原著,張書文編譯(2001),「實踐FMEA 手法-提升產品或系統的可靠性、維護性、安全性」,財團法人中衛發展中心,台北市,台灣。
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英文
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網站
1.明台產物保險,http://www.mingtai.com.tw/life_n2_2.asp#,最後瀏覽日: 2013年11月24日。
2.展信科技,http://www.updc.com.tw/products_show.php?sn=8&m=9,最後瀏覽日:2013年11月24日。
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