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系統識別號 U0026-0812200914305419
論文名稱(中文) 以離散事件模擬進行晶圓代工回收水系統流程之設計與分析
論文名稱(英文) The use of discrete-event simulation for the design and analysis of the reclaim-water system from an IC foundry fab
校院名稱 成功大學
系所名稱(中) 工學院工程管理碩士在職專班
系所名稱(英) Institute of Engineering Management
學年度 96
學期 2
出版年 97
研究生(中文) 王烱柱
研究生(英文) Jeong_Juh Wang
電子信箱 gzi.beads@msa.hinet.net
學號 n0794110
學位類別 碩士
語文別 中文
論文頁數 79頁
口試委員 指導教授-楊大和
口試委員-張行道
口試委員-施勵行
中文關鍵字 離散事件模擬  晶圓代工  回收水  精實系統思考法 
英文關鍵字 Lean Thinking  reclaim-water system  foundry fab  discrete-event simulation 
學科別分類
中文摘要 目前在相關的回收水的論文上,幾乎千篇一律在探討製程回收設備之技術或方法,藉由提高製程回收處理設備之效率,以達到提高回收率。但實際上,新增回收處理設備或變更回收設備之技術,對於已經實際運作之工廠,卻相對必需承擔高度風險及成本費用,一但回收條件變更,例如:水質、水量等等,便可能因為操作條件的變更,而承受設備效果打折或失敗的結果,而其代價已經耗費極大的成本。
本研究以晶圓代工之公司為例,此次研究將解決問題重點放在降低冬季回收水的浪費,因此研究的範圍侷限在冬季。利用部分精實系統思考法的精神,檢討回收水設計流程是否符合精實觀念,杜絕浪費創造利潤,再藉由Arena系統模擬工具以離散事件方法,去模擬實際製程用水回收處理現況,調整製程流程的前後順序,進行消除浪費工程之改善,不需增加新的回收技術,便可提高回收水的運轉效率,並以實際改善驗證之。
以冷卻水塔每天砂濾反洗水量75噸計算,共計每月減少自來水量6,825頓,及每月減少廢水排放量6,825頓,相對於以全廠自來水總量515,009噸及廢水總排放量342,781噸而論,平均每月減少自來水用量約1.3%,及廢水則平均每月降低約2%的廢水排放量,以民國96年度的自來水計價單價每噸12.1元及廢水計價單價每噸18.6元做為計價基準而言,合計共約節省21萬元整。
此份研究報告除了說明有效率的使用回收水,將可以進而提高回收水回收率的實際案例外,也繼續檢討所有的回收水流程,提出未來系統流程改善的建議。借用精實系統思考法的精神,可以提供相關工程人員参考的不同方向,避免陷入技術改善的迷失。
英文摘要 In the essay related to the reclaim water presently, it almost discusses the technology and methods of the new equipment which can improve the efficiency to increase the rate of recovery. For the full load factory, it must be undertaken the high risk and cost lost to build up the new technology reclaim equipment, because of changing the operation situation such as reclaim water quantity and quality…etc.
This research is taking an example of the worker's company – foundry fab. The key point is to lower the reclaim water in the winter. According to Lean Thinking, the paper is to review the procedure of the reclaim water system if meeting with the Lean Thinking or not, to stop wasting and to gain benefits. It simulates the real procedure of the reclaim water system, adjusts the orders of procedure and improves to stop wasting with the discrete-event of Arena system simulation. It can improve the operation efficiency of the reclaim water without adding new technology.
The average consumption of Sand-filter back wash water of cooling tower is about 75 tons every day. It reduces about 6,825 tons of city water per month totally and the waste water is the same. During January 2007 to February 2008, the total amount of city water for the factory was 515,009 tons and the total amount of waste water was 342,781 tons. It reduced about 1.3 % for the amount of city water per month and lower about 2% for the amount of waste water per month. The total amount of money saved was NT$210,000 that was based on NT$12.1 per ton of the city water rate and NT$18.6 per ton of the waste water rate.
The research paper is not only offer the actual improved case, but also make a possible case to suggest the system improvement in the future. The spirit of Lean Thinking can offer a different direction to support engineer in the mind, avoid falling into technology missed.
論文目次 摘 要 i
Abstract ii
誌謝 iii
目錄 iv
表目錄 vi
圖目錄 vii
1. 緒論 1
1.1 研究背景 2
1.2 目的 2
1.3 研究範圍 2
1.4 研究流程 3
1.5 論文架構 4
2. 文獻探討 5
2.1 晶圓代工回收水 5
2.2 精實系統思考法 16
2.3 離散事件模擬 19
3. 模擬模式建立 23
3.1 模式介紹 23
3.2 回收水模擬模型 26
3.3 回收水模式驗證 32
4. 案例說明及研究結論 36
4.1 案例現況 36
4.2 回收水系統分析 44
4.3 回收水系統之改善 46
4.4 A公司冷卻水系統 47
4.5 A公司冷卻水系統的系統流程 49
4.6 A公司回收水之系統改善 50
4.7 A公司回收水之新系統流程 52
4.8 實際改善回收水的新系統流程 54
4.9 改善成果 55
4.10 研究結論 58
5. 未來研究建議 59
參考文獻 61
附錄 63
參考文獻 中文書籍
丹保憲仁、小笠原紘一,民90,淨水技術實務,賴耿陽譯,復漢出版社,台南。
李明逵,民91,矽元件與積體電路製程,全華科技圖書,台北。
林則孟,民90,系統模擬理論與應用,滄海書局,台中。
行政院,「全國國土與水資源會議」結論與建議, 1999 年2 月11 日。
行政院環境保護署,民90,水污染防治法規,行政院環保署,台北。
劉賓陽,民89,作業研究,三民書局,台北。
羅基煌,民91,冷卻水處理精要,知音出版社,台北。
曾迪華,民78,工業廢水離子交換處理,工業污染防治技術手冊之十,經濟部工業局。
蔡騰龍,民91,工業水處理,正文出版社,台北。
詹姆斯。沃馬克( James P. Womack)、丹尼爾。瓊斯( Daniel T. Jones),Lean Thinking,鍾漢清譯,精實革命,經濟新潮社,台北,(2004)。
馬克 魯斯, 李克 哈里斯,建構連續流,中衛發展中心,台北。 Micke Rother, Rick Harris, Creating Continuous Flow, Lean Enterprise Institute, Brookline.
David Simchi - Levi,Philip Kaminsky,蘇義雄譯,民94,Designing and Managing the Supply Chain, 2e,供應鏈之設計與管理,美商麥格羅,台北。
David S. Moore,Statistics: Concepts and Controversies,鄭維厚譯,統計學的世界,民94,天下文化,台北。
DIAION技術手冊;http://www.diaion.com.tw/techno/book1.htm
William J. Stevenson,Operations Management,李易諭譯,民94,作業研究,滄海書局,台北。

中文碩博士論文
李宗儒,民95,分批式流程製程階段批量允收水準參數之最佳化研究,國立成功大學工學院工程管理碩士在職專班碩士論文
林何印,民94,超濾與逆滲透薄膜程序處理及回收工業廢水之研究,國立中央大學環境工程研究所碩士論文。
徐毓蘭,民93,工業廢水回收再利用策略探討,國立臺北大學資源管理研究所碩士論文
陳鎮坤,民94,水回收再利用之經濟效益研究以印刷電路板業為例,國立中央大學環境工程研究所在職專班碩士論文。
張逸輝,民93,晶圓廠模擬模式之建立與分析,國立成功大學製造工程研究所,碩士論文。
蔡杭助,民91,結合基因演算法與離散式建模擬求解即時性平行機台之派工規劃問題,國立成功大學製造工程研究所,碩士論文。
謝志強,民85,半導體製程廢水回收使用之可行性評估,國立成功大學化學工程系碩士論文。
謝正鵬,民 96,結合精實生產與交易成本理論以改善台灣企業的成本競爭力-以台灣品牌液晶電視製造商為例,國立成功大學高階管理碩士在職專班,碩士論文。
Chuang, T. C., Huang, C. J. and Liu, J. C. “Treatment of Semiconductor Wastewater by Dissolved Air Flotation”, Journal of Environmental Engineering, ASCE, 128, 974-980 (2002)

英文碩博士論文
Giles, D. G. and Loehr, R. C. “Waste Generation and Minimization in Semiconductor Industry.” Journal of Environmental Engineering, ASCE, 120, 72-86 (1994)

英文書籍
Richard L. Draf (2006), Understanding the Theory and Design of Organizations, Thomson South-Western
W. David Kelton, Randall P. Sadowski, David T. Sturrock, Simulation with Arena, Fourth Edition.
Womack, J.P., Jones, D.T. and Roos, D. (1990), The Machine That Changed the World, New York, Rawson Associates.

Web
http://epics.aps.anl.gov/asd/me/di2water.htm
http://www.diaion.com.tw/techno/book1.htm
http://www.topology.com.tw/tri/default.asp
http://www.nomura-nms.co.jp/
http://www.wrb.gov.tw/
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