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系統識別號 U0026-0607201315514900
論文名稱(中文) 潔淨室的氣態微分子汙染物防治策略探討
論文名稱(英文) The Prevention Management of Airborne Molecular Contaminants in Clean Room
校院名稱 成功大學
系所名稱(中) 工學院工程管理碩士在職專班
系所名稱(英) Institute of Engineering Management
學年度 101
學期 2
出版年 102
研究生(中文) 吳政鋼
研究生(英文) Cheng-Kang Wu
學號 N07991050
學位類別 碩士
語文別 中文
論文頁數 104頁
口試委員 指導教授-蕭飛賓
口試委員-邵揮洲
口試委員-楊大和
中文關鍵字 氣態微分子汙染物  汙染預防策略  潔淨室  室內空氣品質  污染 
英文關鍵字 Airborne Molecular Contaminants  Contaminant Prevention Strategy  Clean room  Indoor Air Quality  Pollution 
學科別分類
中文摘要 高科技製程技術日新月異,依據目前半導體製程能力已進展至奈米等級,空氣微分子汙染物對於高階製程中的良率影響極大,且大部分化學物質對人體危害皆有影響,故本文將針對現今高科技業之潔淨室之空氣微分子汙染物的處置與預防措施進行整體分析,藉由分析的結果,提供一套較佳之策略,並說明一些主要的防治方法與工具,進而提供預防與解決方案以改善污染情形。
本文依據常用防治方法中分析出AMC防治措施中有六大特性,阻絕、隔離、過濾、排除、稀釋、預防性管制,依此特性來做為策略擬定的基礎,並提出六項主要施行策略以進行AMC汙染防制措施之準則。分別為:知識導入,全員投入;環境分析與AMC來源調查;有效抑制AMC來源與即時排除汙染源;有效管理機制與稽核制度建立;即時監控,善用資源,分析資料,持續PDCA;緊急應變計畫建立與執行。而策略的核心架構在於防治組織之形成與其運作狀況,以及如何使其有良好的績效與執行成果的展現,都是AMC防治工作成功之關鍵因素。
英文摘要 The high-tech process in semiconductor manufacturing is rapidly progressing in recent years. According to the current capability of the manufacturing process being proceeded to the nanometer scale level, the airborne molecular contaminants hence has critical impact on the yield rate of products, in which most contaminants or chemicals have indecent potential hazards to human health. This thesis will mainly focus on the investigations and finding the prevention solutions of the airborne molecular contaminations (AMC) existed in the clean room for high-tech industry. It is also aimed to provide some better strategies and describes the major prevention methods and tools in this study as well.
Based on the common used control methods, this study analyzes six characteristics for AMC prevention, which includes block, isolation, filtering, exhaust, dilution, and preventive control. Following these six characteristics of AMC prevention methods, six strategies are developed as the AMC pollution control guidelines. Those are categorized as (1) Knowledge Import and Full participation of all persons involved, (2) Environmental analysis of AMC source survey, (3) Effective inhibition of AMC sources and immediate pollution suppression, (4) Effective control mechanism and audit system establishment, (5) Real-time monitor, efficient use of resources (such as equipment and facilities), data analysis and continuous adjustment following Plan-Do-Check-Action process, (6) Emergency and responses planning and execution. Results also indicate that the core structure of the AMC prevention strategy are primarily embedded on the formation of the prevention team and their ability in quick response and execution. Meanwhile, how to effectively perform those strategies as proposed and have correct responses on site are indeed the success of the AMC contaminations prevention in clean room for high-tech industries.
論文目次 摘要 I
ABSTRACT II
誌謝 IV
目錄 V
表目錄 VIII
圖目錄 IX
專有名詞對照說明 X
第一章 緒論 1
第一節 研究背景 1
第二節 研究動機 2
第三節 研究目的 3
第四節 研究流程 4
第二章 文獻探討 7
第一節 潔淨室介紹 8
第二節 環境空氣品質介紹 12
第三節 AMC介紹 14
第四節 揮發性有機物介紹 16
第五節 汙染物來源探討 18
第六節 AMC對製程與人員造成的影響 23
第七節 分子擴散理論 26
第三章 潔淨室AMC防治策略之探討 28
第一節 防治策略的發想 28
一、汙染來源的分析 29
二、階段性汙染的分析與處置 31
第二節 汙染源去除方法及應用 37
一、粒狀污染源去除方法 37
二、氣態汙染源去除方法 38
第三節 防治方法分析 41
一、常用防治方法與工具之介紹 41
二、防治方法之演進 46
三、防治方法之特性分析 49
第四節 防治策略的擬定 56
一、策略一 56
二、策略二 57
三、策略三 62
四、策略四 63
五、策略五 67
六、策略六 71
第五節 策略核心的探討 73
第四章 防治方法及驗證與案例分析探討 75
第一節 量測儀器與應用範圍 75
一、偵測對象 75
二、偵測儀器 78
第二節 防治方法之綜合應用與驗證 81
第三節 異常案例探討 83
一、異常案例之背景 84
二、異常案例之說明 84
三、真因分析檢討 85
四、防治策略之應用可行性分析 90
第五章 結論與建議 92
第一節 研究結論 92
第二節 研究限制 93
第三節 建議 94
參考文獻 95
附錄 101
附錄一 101
附錄二 102
附錄三 103
參考文獻 參考文獻
中文部分:
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