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系統識別號 U0026-0402202020435400
論文名稱(中文) 原子層沉積晶圓膜厚均勻度改善之研究
論文名稱(英文) A Study of Improving Thickness Uniformity of Wafer Film Deposited by Atomic Layer Deposition
校院名稱 成功大學
系所名稱(中) 工程科學系碩士在職專班
系所名稱(英) Department of Engineering Science (on the job class)
學年度 108
學期 1
出版年 109
研究生(中文) 李卓穎
研究生(英文) Zhuo-Ying Lee
學號 N97051256
學位類別 碩士
語文別 中文
論文頁數 77頁
口試委員 指導教授-周榮華
口試委員-趙隆山
口試委員-苗君易
口試委員-顏幸苑
中文關鍵字
學科別分類
論文目次
參考文獻
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