進階搜尋


   電子論文尚未授權公開,紙本請查館藏目錄
(※如查詢不到或館藏狀況顯示「閉架不公開」,表示該本論文不在書庫,無法取用。)
系統識別號 U0026-0208201215493400
論文名稱(中文) 探討晶圓緩衝區傳送效率於半導體廠自動化物料搬運系統
論文名稱(英文) Investigation on Transport Efficiency of Wafer Buffer for Automatic Material Handling System in Semiconductor Foundry
校院名稱 成功大學
系所名稱(中) 工學院工程管理碩士在職專班
系所名稱(英) Institute of Engineering Management
學年度 100
學期 2
出版年 101
研究生(中文) 陳育民
研究生(英文) Yu-Min Chen
電子信箱 ken530i@yahoo.com.tw
學號 N07981152
學位類別 碩士
語文別 中文
論文頁數 71頁
口試委員 指導教授-蕭飛賓
口試委員-李再長
口試委員-邵揮洲
中文關鍵字 自動化物料搬運系統  晶圓倉儲系統  軌道緩衝區  機台緩衝區  限制理論  等候理論 
英文關鍵字 Automatic material handling system  Cause and effect figure  Wafer stocker  Over head buffer  Equipment buffer  Theory of constraints  Queuing theory 
學科別分類
中文摘要 半導體產業為台灣重點發展的產業。隨著技術的發展,成本考量、半導體晶圓尺寸及重量增加、搬運距離增加,物料搬運已非人力能負荷,必須仰賴自動化物料搬運系統。由於投入半導體廠自動化需要大量資金,其製程設備也非常昂貴,折舊速度快,因此如何降低機台閒置時間是重要的議題。
本論文使用限制理論及特性要因圖,找出生產機台閒置的關鍵,在於晶圓倉儲(Stocker)滿載,而目前的做法是在搬運軌道吊掛緩衝區(OHB, over hand buffer)做產品的預搬動作,然而此預搬的動作卻會造成搬運量增加。
故本論文提出機台緩衝區(EB, equipment buffer),藉由機台緩衝區內部儲位來分擔晶圓倉儲負荷,藉由機台緩衝區改變傳送模式,減少因軌道緩衝區搬運量增加的問題。接著使用等候理論(Queuing theory)來驗證各緩衝區的傳送效益,以確保達到減少機台閒置時間並提高生產效率的目的。
英文摘要 Nowadays the semiconductor industry, being the focal industry in Taiwan, has to cope with the fast growing technology development, high cost consideration and increase in wafer sizes and weight, which have caused the long-distance material move flow in the factory. Hence, the over-loaded material handling must heavily rely on automated material handling system instead of by human as usual. Because the capital cost in process equipment investment is very high and also fast depreciation as well, therefore, the need of how to improve the production equipment lost time is an important issue in semiconductor industry.
In this thesis, by employing the theory of constraints and cause and effect diagram to identify the key is the stocker busy of production equipment idle. Currently solution in semiconductor factory to solve the problem is to conduct pre-move action on over-head-buffer (OHB), but this solution will increase the amount of handling.
We proposed equipment buffer (EB) process concept to solve the problem . The main process is to share the stocker loading by EB internal shelf, which changing the transfer mode to reducing the over-hand buffer (OHB) retransmission problem. The transfer efficiency of each buffer has been verified by queuing theory to guarantee that the proposed EB process concept has achieved the purpose of reducing the equipment lost time and improving the production capacity utilization..
論文目次 目錄
摘要 Ⅰ
ABSTRACT Ⅱ
誌謝 Ⅳ
目錄 V
表目錄 VIII
圖目錄 IX
符號對照表 XI
專有名詞對造表 XII
第一章 緒論 1
1.1 研究背景與動機 1
1.2 研究目的 6
1.3 研究流程 7
第二章 文獻探討 8
2.1 自動化物料搬運系統(Automatic Material Handling System) 8
2.1.1 物料搬運法則 8
2.1.2 晶圓廠自動化設施佈置 10
2.1.3 搬運系統路徑設計與規劃 12
2.1.4 晶圓倉儲系統 17
2.1.5 軌道緩衝區 19
2.2 搬運系統車輛控制及績效衡量指標 20
2.2.1 搬運系統車輛控制 21
2.2.2 績效衡量指標 22
2.3 限制理論(Theory of Constraint,TOC) 23
2.3.1 限制理論意義 23
2.3.2 限制理論思考程序 24
2.3.3 限制理論解決問題五大步驟 25
2.4 等候理論(Queuing Theory) 25
2.4.1 等候理論 26
2.4.2 等候理論常用符號 27
2.4.3 等候模式 29
第三章 研究方法 32
3.1 自動化搬運系統傳送瓶頸分析 32
3.1.1 自動化搬運系統現況與限制 33
3.1.2 自動化搬運系統限制程序與方法 34
3.1.2 特性要因圖(Cause and Effect diagram)分析 35
3.2 自動化搬運系統派工流程與架構 37
3.2.1 自動化搬運系統架構 38
3.2.2 自動化搬運系統取貨流程分析 39
3.2.3 自動化搬運系統搬貨流程分析 40
3.3 晶圓倉儲系統與緩衝區模式建立 41
3.3.1 晶圓倉儲模式建立 42
3.3.2 軌道緩衝區模式建立 47
3.3.3 機台緩衝區模式建立 52
3.4 晶圓倉儲與緩衝區效益分析比較 58
第四章 案例探討 60
4.1 案例說明 60
4.2 晶圓倉儲等候系統分析 61
4.3 軌道緩衝區等候系統分析 62
4.4 機台緩衝區等候系統分析 64
4.5 案例分析比較 66
第五章 結論 67
5.1 研究成果 67
5.2 未來研究建議 67
參考文獻 69

參考文獻 [1] WSTS,MIC資策會產業情報研究所整理預測,2011 年10月。
[2] 電子工程專輯-製程與製造,“三大半導體廠達共識:2012年邁向18吋晶圓時代”,民國97年6月。
[3] International SEMATECH Wafer Cost Comparison Calculator,Nov.2003
[4] 張婷君,十二吋晶圓廠自動物料搬運系統分段式迴圈設計之探討與分析,國立成功大學碩士論文,民國95年6月。
[5] 蕭鳳儒,運用軌道緩衝區設計改善自動化搬運系統晶圓倉儲傳送壅塞問題—以半導體晶圓代工廠為例,國立成功大學碩士論文,民國98年6月。
[6] Meyers,設施規劃(工廠佈置與物料搬運),高立出版社,台北市,民國98年。
[7] Pierce N. G. and Stafford R, “Modeling and simulation of material handling for semiconductor wafer fabrication” in Proc. Winter simulation conf., pp.900-906, 1994.
[8] Maxwell, W.L. and Muckstade, J.A., Design of automated vehicle system, IIE Transactions, 2, pp.114-124, 1982.
[9] Sinriech, D., Design and evaluation of optimal single-loop guide paths for
automated guided vehicle system, M.S.I.E. Thesis, Purdue University,
West Lafayette, IN, 1990.
[10] Chen ,M.T. ,McGinnis, L. and Zhou ,C., Design and operation of
single-loop dual-rail inter-bay material handling system, International
Journal of Production Research,37,pp 2217-2237,1999.
[11] Bozer, Y.A. and Srinvasan, M.M. , Tandem configurations for automated
guided vehicle systems offer simplicity and flexibility,Industrial
Engineering,21,pp 23-27,1989.
[12] Choi, H.,Kwon,H. and Lee,J., Tradtional and tandem AGVs layouts-A
simulation study,Simulation,63,pp 85-93, 1994.
[13] Bischak, D.P. and Stevens Jr.K.B., An evaluation of tandem
Configuration guided vehicle system,Production Planning & Control,6,
pp 438-444, 1995.
[14] Le-Anh,T. and De Koster , M.B.M., A review of design and control of
automated guided vehicle systems,European Journal of Operational
Research, 171, pp 1-23,2006.
[15] 謝國棟,製造工廠內物料搬運自動化搬送作業之模擬研究,國立成
功大學工程科學系專班碩士論文,民國97年6月。
[16] 柯正德,運用等候理論與前置處理機制於自動搬運系統,國立成功
大學工程管理專班碩士論文,民國97年6月。
[17] Liao ,D.Y. and Fu, H.S., “Speed Delivery : Dynamic OHT Allocation
and Dispatching in large-scale,300mm AMHS Management”,IEEE
Robotics& Automation Magazine,2004.
[18] Lin, C., Yang, T., Padillo , J., and Beres , D. , Inter bay Automated
Handling System Design for wafer fabrication facilities,International
Journal Manufacturing 1,pp 147-155,2000.
[19] Sinriech , D. and Tanchoco , J.M.A.,An introduction to segmented
flow approach for discrete material flow system,International Journal of
Production Research,33,pp 3381-340,1995.
[20] Detter , H.W. , Goldratt ’ s Theory of constraints – A system Approach
to Continuous Improvement. ASQC Quality Press,1997.
[21] 李榮貴/張盛鴻,TOC限制理論(Theory of constraints)初版,中國生
產力中心,台北縣,民國93年。
[22] 劉賓陽,作業研究初版,三民書局,台北市,民國89年。
[23] 鄭清和,品管新七手法實戰,台灣復文興業股份有限公司,民國86
年7月。
[24] 關剛石,自動倉庫介紹,工研院機械所,民國76年6月。
論文全文使用權限
  • 同意授權校內瀏覽/列印電子全文服務,於起公開。
  • 同意授權校外瀏覽/列印電子全文服務,於起公開。


  • 如您有疑問,請聯絡圖書館
    聯絡電話:(06)2757575#65773
    聯絡E-mail:etds@email.ncku.edu.tw