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系統識別號 U0026-0208201022252200
論文名稱(中文) 以成果導向教育機制提升電機科系學生跨領域整合核心能力-以鍍膜製程設備為例
論文名稱(英文) Improving the program outcomes of interdisciplinary and integration for graduate of department of electrical engineering with Outcome-Based education - A case of vacuum coating equipment
校院名稱 成功大學
系所名稱(中) 工程科學系專班
系所名稱(英) Department of Engineering Science (on the job class)
學年度 98
學期 2
出版年 99
研究生(中文) 潘弘尹
研究生(英文) Hung-In Pan
學號 n9796114
學位類別 碩士
語文別 中文
論文頁數 83頁
口試委員 指導教授-黃悅民
口試委員-陳鴻仁
口試委員-鄭淑真
口試委員-劉建宏
中文關鍵字 成果導向教育  工程與科技教育認證  跨領域整合  半導體設備通訊標準  真空鍍膜製程設備 
英文關鍵字 Outcome-Based Education  Accreditation system for engineering education  Interdisciplinary integration  SECS  Vacuum coating equipment 
學科別分類
中文摘要 在今日科技、經濟快速變化的多元化社會,產業界亦開始朝向跨領域整合的方向發展,具備單一領域知識專長的人才已無法滿足產業界之需求,培養具備跨領域知識及整合能力的跨領域人才,平衡產學界之間人才供需的天秤,儼然成為學界努力的方向。
成果導向教育(Outcome-Based Education)的精神,即是以教育目標與核心能力為方向,培養學生具備面對未來生活所需知識、能力與態度;而我國中華工程教育學會所推動的工程與科技教育認證,即是以成果導向為精神,輔導各大專院校培養符合產業界所期待的人才。
本研究以真空鍍膜製程設備為例,設計並建置具有半導體設備通訊標準(SECS)介面之半導體標準通訊與控制系統,了解電機科系的課程中,如何有效的導入資訊及半導體製程相關課程,使電機科系學生具備多元及跨領域知識,並在畢業後,能更符合業界之期待及要求。
英文摘要 Today, in the multiplex society of fast-changing economy and technology. Industrial circle is heading into interdisciplinary integration. The graduate with single domain-knowledge can’t satisfy with the demands of industrial circle. Academic circle must make more effort to train a graduate who has knowledge of interdisciplinary and ability of integration to balance the human resource supply and demand between industrial circle and academic circle.
Outcome-Based Education is training graduate to have knowledge, ability and attitude by educational objectives and program outcomes. The accreditation system for engineering education by Institute of Engineering Education Taiwan (IEET), is helping university to train graduate to fulfill the demands of industrial circle by outcome-based.
The purpose of this paper, is designing and implementing a SECS Communication and Control System(SCCS) to provide with SECS communication interface. To find out how to train the graduate of department of electrical engineering to have multiplex and interdisciplinary integration knowledge via implement the curriculum of Information Technology(IT) and Semi-Conductor process. More to suffice for industrial circle’s need after completion of a course.
論文目次 摘 要 I
Abstract II
誌 謝 III
目 錄 IV
表 目 錄 VI
圖 目 錄 VII

第一章 緒論 1
1-1研究背景 1
1-2研究動機 4
1-3研究目的 6
1-4研究方法 8
1-4-1研究方法 8
1-4-2研究對象 11
1-4-3研究範圍與限制 11
第二章 文獻探討 12
2-1 成果導向教育 12
2-2 精密機械產業現況與人才需求 14
2-2-1電子與半導體生產設備需求人才 14
2-2-2電機相關科系及教育目標 17
2-3 工程及科技教育認證 22
2-3-1 英美之工程及科技教育認證發展現況 25
2-3-2 我國工程及科技教育認證發展現況 28
2-4 機電整合 31
2-4-1 系統本體 32
2-4-2 I/O通訊介面 33
2-4-3 人機介面(HMI, Human Machine Interface) 36
2-5 製程設備資訊整合 39
2-6 半導體設備通訊標準(SECS) 41
2-6-1半導體設備通訊標準(SECS)介紹 41
2-6-2 SECS-I標準介紹 45
2-6-3 SECS-II標準介紹 46
2-6-4 GEM介紹 48
2-6-5 HSMS標準 49
第三章 SCCS系統建置 51
3-1半導體標準通訊與控制系統(SCCS)設計與建置 51
3-1-1 SCCS設計 51
3-1-2 SCCS建置 56
3-2 SCCS程式執行流程 65
第四章 問卷設計與實施 72
4-1 問卷編製依據 72
4-2 研究對象 72
4-3 問卷調查 72
4-4 研究結果與分析討論 73
4-4-1 SCCS的認知構面驗證 73
4-4-2 SCCS的可用性構面驗證 74
4-4-3 SCCS製程設備開發人員需具備的學科知識部份 75
第五章 結論與未來研究方向 77
5-1 結論 77
5-2 未來研究方向 78
參考文獻 80
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[43]http://www.semi.org
[44]http://www.ieet.org.tw
[45]http://www.utitech.com.tw
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