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系統識別號 U0026-0207201916113800
論文名稱(中文) 相異製程對鰭式場效電晶體特性與可靠度影響之研究
論文名稱(英文) Effects of Different Processes on the Characteristics and Reliability of FinFET
校院名稱 成功大學
系所名稱(中) 微電子工程研究所
系所名稱(英) Institute of Microelectronics
學年度 107
學期 2
出版年 108
研究生(中文) 陳俊庭
研究生(英文) Chun-Ting Chen
學號 Q16064252
學位類別 碩士
語文別 英文
論文頁數 72頁
口試委員 指導教授-陳志方
口試委員-張守進
口試委員-賴韋志
口試委員-楊勝州
口試委員-王俊凱
中文關鍵字
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論文目次
參考文獻
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