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系統識別號 U0026-0201201916231700
論文名稱(中文) 邊緣粗糙度對於先進技術節點下內連電阻及電容的影響
論文名稱(英文) Impact of Line-Edge-Roughness on Interconnect RC for Advanced Technology Nodes
校院名稱 成功大學
系所名稱(中) 奈米積體電路工程碩士學位學程
系所名稱(英) MS Degree Program on Nano-Integrated Circuit Engineering
學年度 107
學期 1
出版年 107
研究生(中文) 梁富翔
研究生(英文) Fu-Xiang Liang
電子信箱 a22334472@hotmail.com
學號 Q76051023
學位類別 碩士
語文別 英文
論文頁數 67頁
口試委員 口試委員-高國興
口試委員-曾永華
口試委員-江孟學
指導教授-盧達生
共同指導教授-Ivan Ciofi
中文關鍵字
學科別分類
論文目次
參考文獻
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